被測零件的形狀誤差及基準的選擇

　　1、當三坐標測量儀的被測零件有明顯的毛刺或沙眼時測量的重復性就明顯變差，以至于三次元的操作員給不出準確的測量結果。

　　2、不正確的測量基準的選擇會造成三坐標測量機的測量及計算結果誤差

補償文件的正確性

　　補償文件是使用雙頻激光干涉儀檢測測量機位置度、直線度和角度誤差后生成的補償文件，三次元測量儀的測量軟件是根據它來進行誤差補償的。在安裝三坐標測量機軟件時如果忘記安裝補償文件或將備份文件丟失，會造成三次元影像測量儀精度差和重新校驗機器精度。

外界的溫度

　　1、在影響三次元測量機的主要因素中，溫度是影響三坐標測量機精度的因素。

　　2、在三次元測量機的機房內溫度自下而上是逐漸升高的，而且溫度每時每刻又都在變化。因此每個軸的光柵溫度和零件溫度的差別就影響了三次元測量儀測量的精度。

　　3、不合理的溫度控制方法（空調即用即開，三坐標測量儀不用則關空調），會導致測量室內溫度不穩定均衡。三坐標測量機的溫度也一直在變化，機器處于一種不穩定狀態，測量精度會很差。

測頭校正的正確性和準確性

　　三坐標的測頭校驗時，校驗球及測針的不清潔不牢固及輸入了錯誤的測針長度及標準球直徑都會使測量時軟件調用測頭補償文件時出現補償誤差或錯誤，影響三次元的測量精度。錯誤的測針長度及標準球直徑，都會使三坐標測量儀測量時軟件調用測頭補償文件時出現補償誤差或錯誤，影響測量精度。